台式掃描電子顯微鏡

  分辨率: 5.0nm @30kV SE

  放大倍數: 15x – 150,000x

  加速電壓: 1kv - 30kv（step1kV）

  磁透鏡係統: 雙聚光鏡

  物鏡光闌: 4位可移動 ，搖擺對中

  掃描光柵電位移及旋轉: +/-50um  ，0-360°

  樣品室: 6個接口 ，可接配內外置EDS 。

  樣品台: X=35mm（馬達驅動）

       Y= 35mm（馬達驅動）

       T=0-45°（馬達驅動）    

       R=360°

       Z=5-50mm         

  樣品尺寸（最大）: 70mm (W) x 45mm (H)

  EM-30+高分辨率台式（桌麵式）掃描電鏡采用大型鎢燈絲電鏡光路設計 ，兩級透鏡一級物鏡匯聚 ，使用二次電子探測器作為基礎成像單元 。二次電子探測器采集器采用側位契合式設計 ，在保證采集信其二次電子分辨率可達全業內最高的5.0nm @30kv SE 。EM-30+標配SE+BSE探測器 ，可以同時刻進行二次電子像和背散射電子像收集 ，既能實現對樣品形貌襯度分析 、元素襯度進行分析 ，又能實現將二者相結合進行分析 ，打破了傳統台式電鏡隻能得到樣品單一襯度像的瓶頸 。