光譜橢偏儀
發布日期
：2023-11-03 瀏覽次數
：359
儀器設備檔案卡
儀器名稱
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光譜橢偏儀
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儀器型號
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SE-VM-L
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生產廠家
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武漢頤光科技
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購置日期
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放置地點
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公共分析測試平台1
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儀器工作狀態
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正常
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技術參數
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1
、光譜範圍
：210~1650nm
；可測厚度範圍
：1nm-10μm
；
2
、測量時間
：＜15秒/次（可調）
，膜厚重複精度
：優於 0.005nm
；折射率重複精度
：0.0002
；
3
、入射角範圍
：45-90°（5°進步）
；
4
、入射角調節方式：手動變角
，手動找焦
。
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功能特色
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